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著者 (4件)：
資料名：
巻： 16 号： 3 Pt 1 ページ： 1258-1261 発行年： 1998年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902106913356157
整理番号：98A0631323
rfマグネトロンスパッタで作製したSrBi2Ta2O9薄膜の微細構造に依存した強誘電体特性
Microstructure-dependent ferroelectric properties of SrBi2Ta2O9 thin films fabricated by radio frequency magnetron sputtering.
CHO K-J
(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
LEE J-K
(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
JUNG H-J
(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
PARK J-W
(Hanyang Univ., Seoul, KOR)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 16 号： 3 Pt 1 ページ： 1258-1261 発行年： 1998年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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