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文献
J-GLOBAL ID:200902107106129089   整理番号:00A0863188

光学的逆散乱位相法を用いた3D微小プロファイル測定

3D Micro-Profile Measurement using Optical Inverse Scattering Phase Method.
著者 (5件):
TAGUCHI A
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
MIYOSHI T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
TAKAYA Y
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
TAKAHASHI S
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
SAITO K
(Gumma Polytechnic Coll., Gumma, JPN)

資料名:
CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research)  (CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research))

巻: 49  号:ページ: 423-426  発行年: 2000年 
JST資料番号: E0026A  ISSN: 0007-8506  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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