文献
J-GLOBAL ID:200902107106129089
整理番号:00A0863188
光学的逆散乱位相法を用いた3D微小プロファイル測定
3D Micro-Profile Measurement using Optical Inverse Scattering Phase Method.
著者 (5件):
TAGUCHI A
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MIYOSHI T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TAKAYA Y
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TAKAHASHI S
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
SAITO K
(Gumma Polytechnic Coll., Gumma, JPN)
資料名:
CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research)
(CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research))
巻:
49
号:
1
ページ:
423-426
発行年:
2000年
JST資料番号:
E0026A
ISSN:
0007-8506
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)