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文献
J-GLOBAL ID:200902109119995039   整理番号:01A0982319

磁気中性ループ放電プラズマ中の電子温度及び密度分布の実験及び数値分析

Experimental and numerical analyses of electron temperature and density distributions in a magnetic neutral loop discharge plasma.
著者 (5件):
OKRAKU-YIRENKYI Y
(Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
SUNG Y-M
(Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
OTSUBO M
(Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
HONDA C
(Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
SAKODA T
(Sojo Univ., Kumamoto, JPN)

資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

巻: 19  号:ページ: 2590-2595  発行年: 2001年09月 
JST資料番号: C0789B  ISSN: 0734-2101  CODEN: JVTAD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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