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著者 (2件)：
資料名：
巻： 14 号： 3 Pt 1 ページ： 1258-1265 発行年： 1996年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902109824803335
整理番号：96A0682899
10-9~10-2Torrの残留ガス分析用の四重極分析計の小形アレイにおける高圧効果
High-pressure effects in miniature arrays of quadrupole analyzers for residual gas analysis from 10-9 to 10-2Torr.
FERRAN R J
(Ferran Scientific, Inc., California)
,
BOUMSELLEK S
(Ferran Scientific, Inc., California)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 14 号： 3 Pt 1 ページ： 1258-1265 発行年： 1996年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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