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著者 (4件)：
資料名：
巻： 44th 号： 1 ページ： 12 発行年： 1997年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902111122026718
整理番号：97A0477003
Boltzmann方程式の2項近似によるCF4 RF-CCPモデリング
A modeling of CF4 RF-CCP by two term approximation of the Boltzmann Equation.
栗原優
(慶応大 理工)
,
松井潤
(慶応大 理工)
,
中野誠彦
(慶応大 理工)
,
真壁利明
(慶応大 理工)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 44th 号： 1 ページ： 12 発行年： 1997年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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