文献
J-GLOBAL ID:200902112631235080
整理番号:95A0133482
電子ビーム蒸着で成長させた物質の特性評価と応用
Characterization and Application of Materials Grown by Electron-Beam-Induced Deposition.
著者 (6件):
KOOPS H W P
(Telekom Forschungszentrum, Darmstadt, DEU)
,
KRETZ J
(Technischen Hochschule Darmstadt, Darmstadt, DEU)
,
RUDOLPH M
(Technischen Hochschule Darmstadt, Darmstadt, DEU)
,
WEBER M
(Technischen Hochschule Darmstadt, Darmstadt, DEU)
,
DAHM G
(Telekom Forschungszentrum, Darmstadt, DEU)
,
LEE K L
(IBM Research Division, NY, USA)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
33
号:
12B
ページ:
7099-7107
発行年:
1994年12月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)