文献
J-GLOBAL ID:200902112712719618
整理番号:99A0441992
外部電極によるSiウエハの表面再結合の制御
Control of Surface Recombination of Si Wafers by an External Electrode.
著者 (6件):
ICHIMURA M
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
HIRANO M
(Gokiso, Nagoya, JPN)
,
KATO N
(Gokiso, Nagoya, JPN)
,
ARAI E
(Gokiso, Nagoya, JPN)
,
TAKAMATSU H
(Kobe Steel, Ltd., Kobe, JPN)
,
SUMIE S
(Kobe Steel, Ltd., Kobe, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
38
号:
3B
ページ:
L292-L294
発行年:
1999年03月15日
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)