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著者 (4件)：
資料名：
巻： 18 号： 5 ページ： 2149-2152 発行年： 2000年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902112791324828
整理番号：00A0906764
中性ループ放電プラズマを形成するための最適条件
Studies on the optimum condition for the formation of a neutral loop discharge plasma.
SUNG Y M
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
UCHINO K
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
MURAOKA K
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
SAKODA T
(Kumamoto Inst. Technol., Kumamoto, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 18 号： 5 ページ： 2149-2152 発行年： 2000年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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