文献
J-GLOBAL ID:200902112808734278
整理番号:02A0637168
多成分系ガラス膜の組成へのスパッタリングガス種による影響 多成分系ガラス膜の組成を制御する新しい試み
Effect of the species of sputtering gas on the composition of multi-component glass film: A new approach to control the composition of multi-component glass film.
著者 (2件):
AKAI T
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Osaka, JPN)
,
YAMANAKA H
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Osaka, JPN)
資料名:
Journal of Materials Science Letters
(Journal of Materials Science Letters)
巻:
21
号:
10
ページ:
765-766
発行年:
2002年05月15日
JST資料番号:
D0919B
ISSN:
0261-8028
CODEN:
JMTSAS
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)