文献
J-GLOBAL ID:200902113099996006
整理番号:97A0262609
ルールに基づく方法とシミュレーションに基づく方法を組合わせた大面積光学近接補正
Large-Area Optical Proximity Correction with a Combination of Rule-Based and Simulation-Based Methods.
著者 (3件):
MIYAMA S
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
YAMAMOTO K
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
KOYAMA K
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
35
号:
12B
ページ:
6370-6373
発行年:
1996年12月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)