文献
J-GLOBAL ID:200902113248610310
整理番号:02A0462080
13.56MHz容量結合マイクロプラズマによるポリエチレンテレフタレート(PET)キャピラリーの内壁改質
Inner wall modification of a poly(ethylene terephthalate) (PET) capillary by 13.56 MHz capacitively coupled microplasma.
著者 (4件):
YOSHIKI H
(Tsuruoka National Coll. Technol., Yamagata, JPN)
,
OKI A
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
OGAWA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
HORIIKE Y
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
407
号:
1/2
ページ:
156-162
発行年:
2002年03月22日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)