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著者 (3件)：
資料名：
巻： 365 号： 2 ページ： 176-188 発行年： 2000年04月17日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902113599258389
整理番号：00A0562664
マクロ/マイクロキャビティ法とその化学蒸着反応系のモデリングへの応用
Macro/microcavity method and its application in modeling chemical vapor deposition reaction systems.
HONG L-S
(National Taiwan Univ. Sci. and Technol., Taipei, TWN)
,
SHIMOGAKI Y
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
KOMJYAMA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 365 号： 2 ページ： 176-188 発行年： 2000年04月17日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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