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文献
J-GLOBAL ID:200902113907754988   整理番号:03A0122269

走査電子顕微鏡観察における像の分解能を評価するためのコントラスト-勾配法

Contrast-to-gradient method for the evaluation of image resolution in scanning electron microscopy.
著者 (2件):
ISHITANI T
(Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki-ken, JPN)
SATO M
(Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki-ken, JPN)

資料名:
Journal of Electron Microscopy  (Journal of Electron Microscopy)

巻: 51  号:ページ: 369-382  発行年: 2002年 
JST資料番号: G0104A  ISSN: 0022-0744  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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