文献
J-GLOBAL ID:200902114315432917
整理番号:96A0909174
C膜上に直流マグネトロンスパッタリングによって作製したITO膜の結晶成長
Crystal growth of ITO films prepared by DC magnetron sputtering on C film.
著者 (3件):
MORIKAWA H
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
SUMI H
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
KOHYAMA M
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
281/282
号:
1/2
ページ:
202-205
発行年:
1996年08月01日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)