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著者 (7件)：
資料名：
巻： 14th ページ： 294-297 発行年： 2001年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902114366837121
整理番号：01A0426405
ナノ技術のためのマイクロ加工されたツール 統合マイクロアクチュエータによる2組のナノプローブおよびナノスケール隙間制御
Micromachined Tools for Nano Technology. Twin Nano-Probes and Nano-Scale Gap Control by Integrated Microactuators.
KAKUSHIMA K
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
MITA M
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
KOBAYASHI D
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
HASHIGUCHI G
(Kagawa Univ., Kagawa, JPN)
,
ENDO J
(Hitachi LTD., Saitama, JPN)
,
WADA Y
(Hitachi LTD., Saitama, JPN)
,
FUJITA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 14th ページ： 294-297 発行年： 2001年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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