文献
J-GLOBAL ID:200902114485665037
整理番号:95A0470063
吸着誘起表面応力とそれが微小片持梁の共鳴振動数に及ぼす影響
Adsorption-induced surface stress and its effects on resonance frequency of microcantilevers.
著者 (4件):
CHEN G Y
(Oak Ridge National Lab., Tennessee)
,
THUNDAT T
(Oak Ridge National Lab., Tennessee)
,
WACHTER E A
(Oak Ridge National Lab., Tennessee)
,
WARMACK R J
(Oak Ridge National Lab., Tennessee)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
77
号:
8
ページ:
3618-3622
発行年:
1995年04月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)