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文献
J-GLOBAL ID:200902115272653805   整理番号:02A0680760

偏光解析法を用いたAgスパッタ薄膜の初期成長過程の考察

The Consideration on The Initial Growth Stage of Sputtered Ag Thin Films Observed by Ellipsometry.
著者 (3件):
清水英彦
(新潟大)
星陽一
(東京工芸大)
川畑州一
(東京工芸大)

資料名:
電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)

巻: 122-A  号:ページ: 755-760  発行年: 2002年08月01日 
JST資料番号: S0808A  ISSN: 0385-4205  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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