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文献
J-GLOBAL ID:200902115868776572   整理番号:97A0870837

低価格HARMSプロセス

Low-cost HARMS process.
著者 (3件):
BISCHOFBERGER R
(Neu-Technikum Buchs(NTB), Buchs, CHE)
ZIMMERMANN H
(Neu-Technikum Buchs(NTB), Buchs, CHE)
STAUFERT G
(Neu-Technikum Buchs(NTB), Buchs, CHE)

資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)

巻: A61  号: 1/3  ページ: 392-399  発行年: 1997年06月 
JST資料番号: B0345C  ISSN: 0924-4247  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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