文献
J-GLOBAL ID:200902116028039999
整理番号:00A0362764
マグネトロンスパッタリング 最近の開発と応用の概説
Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications.
著者 (2件):
KELLY P J
(Univ. Salford, Salford, GBR)
,
ARNELL R D
(Univ. Salford, Salford, GBR)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
56
号:
3
ページ:
159-172
発行年:
2000年03月
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)