文献
J-GLOBAL ID:200902116559974897
整理番号:99A1010197
ブロックゲージ厚みの絶対測定に対するFourier解析を用いた分数干渉縞次数法
Fractional Fringe Order Method Using Fourier Analysis for Absolute Measurement of Block Gauge Thickness
著者 (4件):
TSAI M
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
HUANG H
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
ITOH M
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
YATAGAI T
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
資料名:
Optical Review
(Optical Review)
巻:
6
号:
5
ページ:
449-454
発行年:
1999年09月
JST資料番号:
L2272A
ISSN:
1340-6000
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)