文献
J-GLOBAL ID:200902116995790270
整理番号:02A0124018
種々の間隙率の多孔質表面上へのSiCエピタキシャル層の成長
Growth of SiC epitaxial layers on porous surfaces of varying porosity.
著者 (5件):
SADDOW S E
(Univ. South Florida, FL, USA)
,
MYNBAEVA M
(Ioffe Inst., St. Petersburg, RUS)
,
SMITH M C D
(Emerging Materials Res. Lab., MS, USA)
,
SMIRNOV A N
(Ioffe Inst., St. Petersburg, RUS)
,
DIMITRIEV V
(TDI, Inc., MD, USA)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
184
号:
1/4
ページ:
72-78
発行年:
2001年12月12日
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)