文献
J-GLOBAL ID:200902118027812425
整理番号:97A0609001
高純度オゾン曝露及びUV照射を用いた超高純度鉄の表面清浄化の新しい方法
A New Method for Cleaning the Surface of Ultra High Purity Iron by High-Purity Ozone Exposure and UV Irradiation.
著者 (6件):
SUZUKI S
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ICHIMURA S
(Electrotechnical Lab., Tsukuba, JPN)
,
KUROKAWA A
(Electrotechnical Lab., Tsukuba, JPN)
,
ISHIKAWA Y
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ISSHIKI M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
WASEDA Y
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Materials Transactions, JIM(Japan Institute of Metals)
(Materials Transactions, JIM(Japan Institute of Metals))
巻:
38
号:
5
ページ:
451-456
発行年:
1997年05月
JST資料番号:
G0668A
ISSN:
0916-1821
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)