文献
J-GLOBAL ID:200902118278553194
整理番号:03A0019637
クォーツガラスモールドを用いたふっ素化ポリイミド膜の転写法
Replication of fluorinated Polyimide Film Using Quartz Glass Mold.
著者 (1件):
SHIODA T
(Mitsui Chemicals, Inc., Chiba, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
41
号:
10A
ページ:
L1126-L1129
発行年:
2002年10月01日
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)