文献
J-GLOBAL ID:200902119742259381
整理番号:99A0549297
ピエゾ電気トランスデューサに対する窒化アルミニウム薄膜の特性とマイクロ波フィルタへの応用
Properties of aluminum nitride thin films for piezoelectric transducers and microwave filter applications.
著者 (2件):
DUBOIS M-A
(Swiss Federal Inst. Technol., Lausanne, CHE)
,
MURALT P
(Swiss Federal Inst. Technol., Lausanne, CHE)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
74
号:
20
ページ:
3032-3034
発行年:
1999年05月17日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)