文献
J-GLOBAL ID:200902121586699508
整理番号:99A0653653
MOCVDによるBa0.7Sr0.3TiO3薄膜コンデンサにおける電荷損失へのアニール条件の影響
Effects of Annealing Conditions on Charge Loss Mechanisms in MOCVD Ba0.7Sr0.3TiO3 Thin Film Capacitors.
著者 (9件):
BANIECKI J D
(Columbia Univ., New York, USA)
,
LAIBOWITZ R B
(IBM Res. Div., NY, USA)
,
SHAW T M
(IBM Res. Div., NY, USA)
,
SAENGER K L
(IBM Res. Div., NY, USA)
,
DUNCOMBE P R
(IBM Res. Div., NY, USA)
,
CABRAL C
(IBM Microelectronics Div., NY, USA)
,
KOTECKI D E
(IBM Microelectronics Div., NY, USA)
,
SHEN H
(Siemens Microelectronics, NY, USA)
,
MA Q Y
(Columbia Univ., New York, USA)
資料名:
Journal of the European Ceramic Society
(Journal of the European Ceramic Society)
巻:
19
号:
6/7
ページ:
1457-1461
発行年:
1999年
JST資料番号:
E0801B
ISSN:
0955-2219
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)