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文献
J-GLOBAL ID:200902121586699508   整理番号:99A0653653

MOCVDによるBa0.7Sr0.3TiO3薄膜コンデンサにおける電荷損失へのアニール条件の影響

Effects of Annealing Conditions on Charge Loss Mechanisms in MOCVD Ba0.7Sr0.3TiO3 Thin Film Capacitors.
著者 (9件):
BANIECKI J D
(Columbia Univ., New York, USA)
LAIBOWITZ R B
(IBM Res. Div., NY, USA)
SHAW T M
(IBM Res. Div., NY, USA)
SAENGER K L
(IBM Res. Div., NY, USA)
DUNCOMBE P R
(IBM Res. Div., NY, USA)
CABRAL C
(IBM Microelectronics Div., NY, USA)
KOTECKI D E
(IBM Microelectronics Div., NY, USA)
SHEN H
(Siemens Microelectronics, NY, USA)
MA Q Y
(Columbia Univ., New York, USA)

資料名:
Journal of the European Ceramic Society  (Journal of the European Ceramic Society)

巻: 19  号: 6/7  ページ: 1457-1461  発行年: 1999年 
JST資料番号: E0801B  ISSN: 0955-2219  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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