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著者 (9件)：
資料名：
巻： 1996 ページ： 152-153 発行年： 1996年
JST資料番号： W0784A ISSN： 1078-621X 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902121914988016
整理番号：96A1017287
Cleaning and polishing as key steps for smart-cut SOI process.
MORICEAU H
(CEA/G, Grenoble)
,
MALEVILLE C
(CEA/G, Grenoble)
,
CARTIER A M
(CEA/G, Grenoble)
,
ASPAR B
(CEA/G, Grenoble)
,
SOUBIE A
(CEA/G, Grenoble)
,
BRUEL M
(CEA/G, Grenoble)
,
POUMEYROL T
(CEA/G, Grenoble)
,
METRAL F
(SOITEC SA, Grenoble)
,
AUBERTON-HERVE A J
(SOITEC SA, Grenoble)
資料名：
Proceedings. IEEE International SOI Conference
(Proceedings. IEEE International SOI Conference)
巻： 1996 ページ： 152-153 発行年： 1996年
JST資料番号： W0784A ISSN： 1078-621X 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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