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著者 (8件)：
資料名：
巻： 13 号： 6 ページ： 2923-2927 発行年： 1995年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902122689066542
整理番号：96A0169261
λ/20極紫外線干渉測定法の進歩
Progress towards λ/20 extreme ultraviolet interferometry.
GOLDBERG K A
(Univ. California, California)
,
BEGUIRISTAIN R
(Univ. California, California)
,
BOKOR J
(Univ. California, California)
,
MEDECKI H
(Lawrence Berkeley Lab., California)
,
ATTWOOD D T
(Univ. California, California)
,
JACKSON K
(Lawrence Berkeley Lab., California)
,
TEJNIL E
(Univ. California, California)
,
SOMMARGREN G E
(Lawrence Livermore National Lab., California)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 13 号： 6 ページ： 2923-2927 発行年： 1995年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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