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著者 (5件)：
資料名：
巻： 41 号： 6B ページ： 4321-4326 発行年： 2002年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902123101264757
整理番号：02A0625624
二層PZTバイモルフ梁により作動させた1D及び2Dマイクロスキャナーの設計及び作製
Design and Fabrication of 1D and 2D Micro Scanners Actuated by Double Layered Lead Zirconate Titanate (PZT) Bimorph Beams.
TSAUR J
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
ZHANG L
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
MAEDA R
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
MATSUMOTO S
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
KHUMPUANG S
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41 号： 6B ページ： 4321-4326 発行年： 2002年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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