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文献
J-GLOBAL ID:200902123687735109   整理番号:01A0627499

ナノ押込圧子により測定した薄膜の機械的性質

Mechanical properties of thin films measured by nanoindenters.
著者 (3件):
ISHIKAWA H
(Machinery and Metallurgy Res. Inst. Chiba Prefecture, Chiba, JPN)
FUDETANI S
(Chiba Univ., Chiba, JPN)
HIROHASHI M
(Chiba Univ., Chiba, JPN)

資料名:
Applied Surface Science  (Applied Surface Science)

巻: 178  号: 1/4  ページ: 56-62  発行年: 2001年07月02日 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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