文献
J-GLOBAL ID:200902125281735232
整理番号:02A0570411
極薄SOI膜MOSFETの反転層移動度に対する埋め込み酸化層界面の影響
Influences of Buried-Oxide Interface on Inversion-Layer Mobility in Ultra-Thin SOI MOSFETs.
著者 (3件):
KOGA J
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
TAKAGI S
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
TORIUMI A
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
資料名:
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻:
49
号:
6
ページ:
1042-1048
発行年:
2002年06月
JST資料番号:
C0222A
ISSN:
0018-9383
CODEN:
IETDAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)