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文献
J-GLOBAL ID:200902125289150462   整理番号:99A0650458

高エネルギーHe+イオン照射が重合体状水素添加非晶質カーボンの構造に及ぼす効果

Effects of high energetic He+ ion irradiation on the structure of polymeric hydrogenated amorphous carbon.
著者 (9件):
ZHANG Q
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
YOON S F
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
AHN J
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
RUSLI
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
YANG H
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
YANG C
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
WATT F
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
TEO E J
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
OSIPOWICE T
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)

資料名:
Microelectronics Journal  (Microelectronics Journal)

巻: 30  号:ページ: 801-805  発行年: 1999年08月 
JST資料番号: A0186A  ISSN: 0026-2692  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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