文献
J-GLOBAL ID:200902125642829385
整理番号:93A0853199
Pulsed laser deposition of amorphous diamond-like carbon films with ArF (193nm) excimer laser.
著者 (4件):
XIONG F
(Northwestern Univ., Illinois)
,
WANG Y Y
(Northwestern Univ., Illinois)
,
LEPPERT V
(Northwestern Univ., Illinois)
,
CHANG R P H
(Northwestern Univ., Illinois)
資料名:
Journal of Materials Research
(Journal of Materials Research)
巻:
8
号:
9
ページ:
2265-2272
発行年:
1993年09月
JST資料番号:
D0987B
ISSN:
0884-2914
CODEN:
JMREEE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)