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著者 (6件)：
資料名：
巻： 17 号： 6 ページ： 3267-3272 発行年： 1999年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902126965627443
整理番号：00A0122773
157nmレジスト設計の展望
Outlook for 157nm resist design.
KUNZ R R
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
BLOOMSTEIN T M
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
HARDY D E
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
GOODMAN R B
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
DOWNS D K
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
,
CURTIN J E
(Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 17 号： 6 ページ： 3267-3272 発行年： 1999年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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