文献
J-GLOBAL ID:200902128786382457
整理番号:97A0262660
陽極酸化による単結晶Siミクロ構造の製作
Fabrication of Single-Crystal Si Microstructures by Anodization.
著者 (2件):
HIGA K
(Kyushu Inst. Technol., Fukuoka, JPN)
,
ASANO T
(Kyushu Inst. Technol., Fukuoka, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
35
号:
12B
ページ:
6648-6651
発行年:
1996年12月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)