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著者 (4件)：
資料名：
巻： 7 号： 1 ページ： 27-37 発行年： 1998年03月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902129242007438
整理番号：98A0380433
レーザ光線の走査と位置決めの為の静電櫛ドライブ動力マイクロミラー
Electrostatic Combdrive-Actuated Micromirrors for Laser-Beam Scanning and Positioning.
KIANG M-H
(Univ. California, CA, USA)
,
SOLGAARD O
(Univ. California, CA, USA)
,
LAU K Y
(Univ. California, CA, USA)
,
MULLER R S
(Univ. California, CA, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 7 号： 1 ページ： 27-37 発行年： 1998年03月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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