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著者 (3件)：
資料名：
巻： 6th ページ： 71-74 発行年： 1995年
JST資料番号： X0060A ISSN： 2434-396X 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902129583910012
整理番号：96A0284521
DCマグネトロンスパッタ法によるZnO系透明導電膜の作製と評価
Comparative Study on The ZnO-Based Transparent Conducting Films by DC Magnetron Sputtering.
中田時夫
(青山学院大 理工)
,
村上直樹
(青山学院大 理工)
,
国岡昭夫
(青山学院大 理工)
資料名：
マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
(エレクトロニクス実装学会秋季大会論文集)
巻： 6th ページ： 71-74 発行年： 1995年
JST資料番号： X0060A ISSN： 2434-396X 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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