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著者 (5件)：
資料名：
巻： 18 号： 3 ページ： 864-872 発行年： 2000年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902129706558165
整理番号：00A0535732
誘導結合CF4/Arプラズマの診断
Diagnostics of an inductively coupled CF4/Ar plasma.
HIOKI K
(Keio Univ., Yokohama, JPN)
,
HIRATA H
(Keio Univ., Yokohama, JPN)
,
MATSUMURA S
(Musashi Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
PETROVIC Z L
(Keio Univ., Yokohama, JPN)
,
MAKABE T
(Keio Univ., Yokohama, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 18 号： 3 ページ： 864-872 発行年： 2000年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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