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著者 (1件)：
資料名：
巻： 3677 号： Pt.2 ページ： 565-573 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902130408208818
整理番号：99A0795871
原子間力顕微鏡チップでの直接崩壊法によるマイクロレジストパターンの接着挙動の解析
Analysis of adhesion behavior of micro resist pattern by direct collapse method with atomic force microscope tip.
KAWAI A
(Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3677 号： Pt.2 ページ： 565-573 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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