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著者 (6件)：
資料名：
巻： 64 号： 618 ページ： 402-408 発行年： 1998年02月
JST資料番号： F0227B ISSN： 0387-5008 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902131021631506
整理番号：98A0282921
ダイナミックイオンミキシング法によるTi-N系薄膜の形成とその機械的性質
Formation of Ti-N Thin Films Prepared by Dynamic Ion Mixing Technique and Their Mechanical Properties.
松室昭仁
(名古屋大 工)
,
林敏行
(名古屋大 大学院)
,
池田修
(名古屋大 大学院)
,
高橋満雄
(名古屋大 大学院)
,
松村睦生
(名古屋大 大学院)
,
山口勝美
(名古屋大 工)
資料名：
日本機械学会論文集 A編
(Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)
巻： 64 号： 618 ページ： 402-408 発行年： 1998年02月
JST資料番号： F0227B ISSN： 0387-5008 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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