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資料名：
号： 475,Pt.1 ページ： 417-420 発行年： 1999年
JST資料番号： D0071C ISSN： 0094-243X 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902131050468002
整理番号：99A0760999
クラスターイオンビームによる窒化物薄膜の合成
Nitride Thin Film Synthesis by Cluster Ion Beam.
SAITO H
(Okayama Univ. Sci., Okayama, JPN)
資料名：
AIP Conference Proceedings
(AIP Conference Proceedings)
号： 475,Pt.1 ページ： 417-420 発行年： 1999年
JST資料番号： D0071C ISSN： 0094-243X 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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