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著者 (4件)：
資料名：
巻： 13 号： 6 ページ： 2747-2752 発行年： 1995年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902131052068761
整理番号：96A0038473
C2H2のプラズマ重合の光量測定による研究と成膜の性質
An actinometric study of C2H2 plasma polymerization and film properties.
MOTA R P
(UNESP, Paulo, BRA)
,
SHIOSAWA T
(UNICAMP, Campinas Sao Paulo, BRA)
,
DURRANT S F
(UNICAMP, Campinas Sao Paulo, BRA)
,
DE MORAES M A B
(UNICAMP, Campinas Sao Paulo, BRA)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 13 号： 6 ページ： 2747-2752 発行年： 1995年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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