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著者 (4件)：
資料名：
巻： 30 号： 6 Pt 1 ページ： 4647-4649 発行年： 1994年11月
JST資料番号： A0339B ISSN： 0018-9464 CODEN： IEMGAQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902131244728153
整理番号：95A0092414
シリコン精密加工をした二次元ガルバノ光学スキャナ
Silicon Micromachined Two-Dimensional Galvano Optical Scanner.
ASADA N
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
MATSUKI H
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
MINAMI K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ESASHI M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
IEEE Transactions on Magnetics
(IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 30 号： 6 Pt 1 ページ： 4647-4649 発行年： 1994年11月
JST資料番号： A0339B ISSN： 0018-9464 CODEN： IEMGAQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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