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文献
J-GLOBAL ID:200902132166025325   整理番号:00A0300140

同軸衝撃衝突イオン散乱分光法を用いたプラズマ支援分子ビームエピタキシャルGaN{0001}膜の極性の特性評価

Characterization of Polarity of Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxial GaN{0001} Film Using Coaxial Impact Collision lon Scattering Spectroscopy.
著者 (6件):
SONODA S
(ULVAC JAPAN, Ltd., Kanagawa, JPN)
SHIMIZU S
(ULVAC JAPAN, Ltd., Kanagawa, JPN)
SUZUKI Y
(ULVAC JAPAN, Ltd., Kanagawa, JPN)
BALAKRISHNAN K
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
SHIRAKASHI J
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
OKUMURA H
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)

巻: 39  号: 2A  ページ: L73-L75  発行年: 2000年02月01日 
JST資料番号: F0599B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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