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著者 (6件)：
資料名：
巻： 40 号： 1 ページ： 380-387 発行年： 2001年01月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902133096318920
整理番号：01A0486694
表面波結合プラズマ発生のためのラジアルラインスロットアンテナの近傍場分布
Near-Field Distribution of Radial Line Slot Antenna for Surface-Wave-Coupled Plasma Generation.
YAMAMOTO T
(Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
,
ONO M
(Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
,
ANDO M
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
GOTO N
(Takushoku Univ., Tokyo, JPN)
,
ISHII N
(Tokyo Electron Ltd., Yamanashi, JPN)
,
YASAKA Y
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 40 号： 1 ページ： 380-387 発行年： 2001年01月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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