文献
J-GLOBAL ID:200902133548863416
整理番号:95A0298531
高圧力ヘリウム高周波放電におけるシース電場の測定
Measurements of sheath electric fields in a high pressure helium radio frequency discharge.
著者 (4件):
BOWDEN M D
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
CHOI Y W
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
MURAOKA K
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
MAEDA M
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
66
号:
9
ページ:
1059-1061
発行年:
1995年02月27日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)