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文献
J-GLOBAL ID:200902134314781471   整理番号:01A0982005

大口径φ300mmSiウエハ用超加工機械の開発

Development of One-Stop Manufacturing System for Large-sized φ300mm Si Wafer.
著者 (6件):
江田弘
(茨城大 工)
ZHOU L
(茨城大 工)
中野博民
(茨城大 工)
近藤良
(茨城大 工)
清水淳
(茨城大 工)
田島琢二
(日立ビアメカニクス)

資料名:
精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

巻: 67  号: 10  ページ: 1693-1697  発行年: 2001年10月05日 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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