文献
J-GLOBAL ID:200902134346950933
整理番号:02A0686964
原子層堆積により作製したZnO/Al2O3ナノ積層膜 成長及び表面粗さ測定
ZnO/Al2O3 nanolaminates fabricated by atomic layer deposition: Growth and surface roughness measurements.
著者 (3件):
ELAM J W
(Univ. Colorado, CO, USA)
,
SECHRIST Z A
(Univ. Colorado, CO, USA)
,
GEORGE S M
(Univ. Colorado, CO, USA)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
414
号:
1
ページ:
43-55
発行年:
2002年07月01日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)