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著者 (3件)：
資料名：
巻： 37 号： 10 ページ： 5701-5707 発行年： 1998年10月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902134710956730
整理番号：98A0987450
Ar/O2混合物雰囲気中でのスパッタリングにより堆積したRu電極
Ru Electrode Deposited by Sputtering in Ar/O2 Mixture Ambient.
AOYAMA T
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
MURAKOSHI A
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
,
IMAI K
(Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37 号： 10 ページ： 5701-5707 発行年： 1998年10月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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