文献
J-GLOBAL ID:200902135851435365
整理番号:01A0398241
SiO2上の非晶質Siのイオンビーム刺激固相結晶化
Ion-beam stimulated solid-phase crystallization of amorphous Si on SiO2.
著者 (4件):
MIYAO M
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
TSUNODA I
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
SADOH T
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
KENJO A
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
383
号:
1/2
ページ:
104-106
発行年:
2001年02月15日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)