文献
J-GLOBAL ID:200902136080559853
整理番号:97A0572000
自己停止型ディッシングフリーSIO2-CMPのスラリー工学
Slurry engineering for self-stopping, dishing free SiO2-CMP.
著者 (3件):
NOJO H
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
KODERA M
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
NAKATA R
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名:
Technical Digest. International Electron Devices Meeting
(Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻:
1996
ページ:
349-352
発行年:
1996年
JST資料番号:
C0829B
ISSN:
0163-1918
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)